橫河MEMS傳感器的主要優點
橫河EJA變送器EJA210/220A、EJA430A、EJA510A/530A采用了世界最領先的微電子機械加工高新技術(MEMS),即采用微電子加工技術(MEMS)在一個單晶硅芯片表面的中心和邊緣制作兩個形狀、尺寸、材質完全一致的H形狀的諧振梁,諧振梁在自激振蕩回路中作高頻振蕩。
MEMS有如下幾點優點:
⒈調節輸出信號。集成在芯片上的電路可以在信號傳輸前預先完成A/D轉換、阻抗匹配、輸出信號格式化以及信號平均等信號調節和處理工作。
⒉大大提高信噪比。在同一個芯片上進行信號傳輸前可放大信號以提高信號水平,減小干擾和傳輸的噪聲,特別是同一芯片上進行A/D轉換時,更能改善信噪比。
⒊MEMS傳感器還可以把多個相同的敏感元件集成在同一芯片上形成傳感器陣列(如微型觸覺傳感器);或把不同的敏感元件集成在同一芯片上實現多功能傳感(如微型氣敏傳感器)。
⒋由于MEMS傳感器體積微小,重量極輕,因此其附貼片鉭電容加質量等因素對被測系統的影響可以忽略不計,可提高測量精度。
⒌此種傳感器在同一芯片上集成了了放大電路、敏感元件以及補償電路,可以實現傳感探測的同時,而且還能處理信號,增強鉭電容的線性度和頻響特性,減少溫度或靜壓引起的誤差,并且可以每隔一段時間自行校準和診斷。
橫河變送器靜壓影響忽略不計,當加有靜壓(工作壓力)時,兩形狀、尺寸、材質完全一致的諧振梁形變相同,故頻率變化也一致,故偏差自動清除(公式和圖類似溫度影響)。
橫河變送器單向過壓特性優異 ,接液膜片與膜盒本體采用獨創的波紋加工技術,使外部壓力增大到某一數值時,接液膜片能與本 EJA智能壓力變送器體完全接觸,硅油傳遞給傳感器的壓力不再隨外力的增加而增加,從而達到對傳感器的保護作用。、所示為EJA過壓特性。安裝靈活,可無需支架,直接安裝,常規使用,無需三閥組,組態靈活簡便,可通過計算機或手操器對變送器組態,也可通過變送器上的量程設置按鈕和調零按鈕,進行現場調整。
橫河支持開放式通訊協議:BRAIN/HART/FF 現場總線三種通訊協義供選擇.
并且開發時重視零點的穩定性,提高了維護效率。
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